中證網訊（王珞）據(ju)必聯網發布(bu)的中標(biao)結(jie)果公(gong)告(gao)顯示，3月7日，嘉芯(xin)迦(jia)能(neng)的摻(chan)雜硼(peng)磷二(er)氧化(hua)(hua)硅薄膜(mo)化(hua)(hua)學(xue)沉積設備（SACVD）以及鈦(tai)/氮化(hua)(hua)鈦(tai)沉積設備（MOCVD）再次中標(biao)某公(gong)司的特色工(gong)藝生產(chan)線建(jian)設招標(biao)項(xiang)目。嘉芯(xin)迦(jia)能(neng)為萬(wan)業企業旗(qi)下嘉芯(xin)半導體的子公(gong)司。

　　自2022下(xia)(xia)半年開始(shi)，萬業企業旗下(xia)(xia)嘉芯半導體多(duo)次中標(biao)多(duo)款設(she)備(bei)(bei)，包含快速熱處理（RTP）、氮(dan)化(hua)硅等(deng)(deng)離子(zi)(zi)刻(ke)蝕機、金屬(shu)等(deng)(deng)離子(zi)(zi)刻(ke)蝕機、側墻(qiang)等(deng)(deng)離子(zi)(zi)刻(ke)蝕機、高密度等(deng)(deng)離子(zi)(zi)薄(bo)膜(mo)沉(chen)積(ji)(ji)設(she)備(bei)(bei)（HDP-CVD）、二氧化(hua)硅等(deng)(deng)離子(zi)(zi)薄(bo)膜(mo)沉(chen)積(ji)(ji)設(she)備(bei)(bei)（PECVD）、鋁(lv)銅金屬(shu)濺射設(she)備(bei)(bei)（PVD）、摻雜硼(peng)磷二氧化(hua)硅薄(bo)膜(mo)化(hua)學沉(chen)積(ji)(ji)設(she)備(bei)(bei)（SACVD）以及鈦(tai)(tai)/氮(dan)化(hua)鈦(tai)(tai)沉(chen)積(ji)(ji)設(she)備(bei)(bei)（MOCVD）等(deng)(deng)。